PHIL佐藤 小型CVD設備 SFCV-1501
管式爐型高溫熱化學氣相沉積系統，適用于大學和研究機構開發石墨烯等各種碳氫化合物材料。 該系統實現了小型化，因此可以通過簡單的操作生產小批量和小尺寸試件，同時還能顯著降低成本。 此外，該系統還配備了 5-100 Pa 的壓力控制功能，這在以往的小型系統中是很難實現的，從而使其能夠用于更多的加工模式。 該系統還配備了針對易燃碳氫化合物氣體的**裝置，如用于關閉設備的報警檢測系統和用于稀釋釋放到大氣中的氣體的氣體稀釋裝置。
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