HONDA本多_石英振動體型清洗機_W-357-1MQB-SKC
長處 清潔具有小型化圖案的晶圓,損壞低 ■超聲波疊加在石英振動體上,清潔半導體晶片。 通過將化學溶液浸入半導體晶片中并通過石英玻璃傳播超聲波振動,接觸部分的化學溶液振動,加速度去除表面的污垢。 ■實現清潔清潔,對半導體晶圓的損壞很小。 通過使用石英與化學品接觸,與使用橡膠材料(如填料)的設備相比,無需橡膠洗脫或磨損即可實現清潔清潔。 ■由于具有諧振器冷卻功能,*大輸出功率比標準產品提高了2.4倍。 通過用氣體(氮氣等)冷卻傳感器,可以實現穩定的連續運行,而不會出現頻率波動。 此外,冷卻可確保較長的使用壽命,而不會突然的溫度變化。 用 抗殘留物去除 磨邊、灰化后的聚合物去除 柵極清潔 CMP 后的清潔
發生器
型式
W-357-1MQB-SKC
発振方式
周波數設定式他勵発振
定格出力
12W
公稱発振周波數
1MHz
電源入力
AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA
外形寸法
180(W)×250(D)×100(H)mm (突起部は除く、ゴム足を含む)
質 量
2.2kg
●輸出可變范圍:0W~12W(振動體允許輸入:使用空氣吹掃振蕩器冷卻時連續10W) ● 環境:溫度:15~35°C,濕度:10~85% ●外部驅動觸點額定值:超聲波振蕩控制(控制側)觸點輸入:DC12V 16mA以上 報警輸出(儀表)觸點容量:DC24V 0.5A ■附帶電纜:電源線(100V2m/200V3m),控制線(5m)x 4 噴頭
流量 指定なし 全長 159mm チャック部寸法 φ24mm 照射面積 24cm2 質量 600g
流量
指定なし
全長
159mm
チャック部寸法
φ24mm
照射面積
24cm2
質量
600g
●工作液體溫度范圍:20~50°C - 諧振器:PZT - 材料: 振動體: 石英玻璃, 包裝: 硅橡膠, 表殼: PCTFE --線長:輸出碼1.5米+繼電器碼3.5米 - 空氣吹掃接頭:兼容管(外徑φ6)
上海巖瀨國際貿易有限公司 Tel:021-63333-365 Fax:021-63333-367 Add:上海市松江區滬亭北路199弄九亭中心5號樓811室 Email:sh@iwase365.com